光刻胶的主要组成成分共有四类，分别为成膜树脂、感光剂、溶剂和添加剂，各类成分承担着不同的功能。
1. 成膜树脂
作为光刻胶的基础核心成分，主要作用是形成均匀的薄膜基底，为光刻胶提供基本的物理和化学性能。常见的原料为酚醛树脂，具备良好的化学稳定性和热稳定性。
2. 感光剂
是实现光刻核心功能的关键成分，能在特定波长光照下发生光化学反应，改变自身溶解度。目前最常见的是重氮萘醌类化合物，经过光照后其溶解性会出现明显变化，配合后续显影工序就能加工出所需的微细图形。
3. 溶剂
用于溶解其他固态成分，调整光刻胶的黏度和流动性，确保可以均匀涂布在基材表面。常用的溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA），兼具良好的溶解性和挥发性，可以让涂布后的光刻胶快速干燥成膜。
4. 添加剂
用于优化光刻胶的各项性能，根据需求添加不同类型的添加剂：比如增塑剂可以提升光刻胶的柔韧性，防止薄膜开裂；稳定剂则能提升光刻胶在储存和使用过程中的稳定性，避免性能出现异常变化。
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